在半導體制造領域,氣體分配系統的穩定性直接影響芯片的質量與良率。微小的顆粒污染可能導致電路短路、器件失效等嚴重問題,因此高效可靠的過濾設備成為不可或缺的核心組件。深圳恒歌推出的 MF 系列 VCR 過濾器,以全金屬材質為基礎,專為半導體氣體分配系統量身打造,憑借卓越的性能與便捷的設計,為精密設備筑起一道堅實的防護屏障。
作為一款專為半導體行業設計的過濾設備,MF 系列 VCR 過濾器在材質選擇上堪稱嚴苛。其整體采用 316L 不銹鋼結構,這種材質不僅具備優異的耐腐蝕性,能抵御各種腐蝕性氣體的侵蝕,還擁有出色的耐高溫性能,可在高達 400℃的極端環境下穩定工作。在半導體制造過程中,部分工藝環節需要在高溫環境下進行,普通過濾器往往難以承受這樣的溫度考驗,而 MF 系列 VCR 過濾器則能從容應對,確保過濾效果不受溫度影響,為氣體分配系統的穩定運行提供有力保障。
兼容性是 MF 系列 VCR 過濾器的一大亮點。它兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 標準墊圈接口,這意味著在不同規格的半導體氣體分配系統中,都能輕松實現對接。無需對現有系統進行大規模改造,大大降低了設備更換與升級的成本。無論是新建的生產線,還是對老舊設備的改造升級,MF 系列 VCR 過濾器都能快速融入,為系統提供即時的過濾保護。
安裝便捷性是 MF 系列 VCR 過濾器深受用戶青睞的重要原因。它采用墊片式便捷安裝方式,作為表面密封的過濾器,不需要額外的切割、焊接管道等復雜工作。這一設計不僅簡化了安裝流程,減少了安裝過程中對系統的干擾,還降低了因安裝不當而導致的泄漏風險。在半導體工廠的日常運維中,設備的安裝與更換往往需要在短時間內完成,以減少對生產進度的影響,MF 系列 VCR 過濾器的快速安裝特性恰好滿足了這一需求。
MF 系列 VCR 過濾器的過濾性能同樣出色。其過濾精度≥0.3μm,能夠有效阻隔氣體中的微小顆粒,防止這些顆粒進入 MFC 模塊、精密閥門及穩壓設備等敏感組件。在半導體制造中,這些敏感組件對顆粒污染極為敏感,一旦受到污染,可能會導致設備性能下降、壽命縮短,甚至引發生產事故。MF 系列 VCR 過濾器的高效過濾能力,能夠最大限度地減少顆粒污染帶來的危害,延長設備的使用壽命,降低因設備故障導致的停機風險,從而為企業節省大量的維護與更換成本。
考慮到不同半導體氣體分配系統的壓力需求,MF 系列 VCR 過濾器提供了低壓型和高壓型兩種選擇。適用于高壓的系統管路中,1/2’’規格的最大正向壓差可達 2.9Mpa,1/4” 規格的最大正向壓差更是高達 10.4Mpa,流量范圍在 0~300slpm,能夠滿足高壓、大流量場景下的過濾需求;而適用于低壓的系統管路(VCR 過濾墊片),最大使用壓力為 0.98Mpa,流量范圍在 0~100slpm,同時提供 0.3μm、1.0μm、5μm、10μm 等多種過濾精度選擇,可根據不同的工藝要求靈活搭配。這種多樣化的選擇,使得 MF 系列 VCR 過濾器能夠適應不同壓力、不同流量、不同過濾精度要求的半導體氣體分配系統,為各類工藝環節提供精準的過濾保護。
此外,MF 系列 VCR 過濾器還具備在現有配管上安裝的能力,這為企業的設備升級提供了極大的便利。很多半導體工廠在長期的生產過程中,已經形成了相對固定的配管布局,更換過濾器時若需要對配管進行大規模調整,不僅成本高昂,還可能影響生產進度。而 MF 系列 VCR 過濾器可以直接在現有配管上安裝,無需改變配管的整體結構,為企業提供了一種經濟高效的防污解決方案。
在半導體制造行業,泄漏風險是必須嚴格防范的問題。微粒污染可能會導致密封面磨損,進而引發氣體泄漏,不僅會影響生產安全,還可能造成原材料的浪費和環境的污染。MF 系列 VCR 過濾器通過有效阻隔微粒侵襲,減少了微粒對密封面的磨損,從源頭上預防了因微粒污染導致的泄露風險,為半導體工廠的安全生產提供了有力保障。
深圳恒歌作為一家專注于半導體設備研發與制造的企業,始終以滿足客戶需求為導向,不斷追求技術創新與品質提升。MF 系列 VCR 過濾器的推出,正是深圳恒歌對半導體行業需求深入理解的體現。它不僅在性能上達到了行業領先水平,還在安裝與使用的便捷性上為用戶帶來了極大的便利,真正做到了為精密設備提供經濟高效的防污屏障。
總之,深圳恒歌 MF 系列 VCR 過濾器憑借全金屬材質、優異的兼容性、便捷的安裝方式、高效的過濾性能以及多樣化的選擇,成為了半導體氣體分配系統中不可或缺的守護屏障。它為半導體制造企業提供了可靠的過濾解決方案,有助于提高生產效率、降低生產成本、保障生產安全,是半導體行業值得信賴的過濾設備之選。
發布時間 25-07-31