在半導體制造過程中,氣體的潔凈度是保證芯片質量的關鍵因素之一。任何微小的顆粒雜質都可能導致芯片缺陷,影響產品良率。深圳恒歌推出的 VCR 墊片過濾器,以其獨特的設計和卓越的性能,為半導體氣體系統提供了高效的過濾解決方案,成為保護精密設備的重要屏障。
不銹鋼VCR 墊片過濾器采用全金屬材質制造,整體為 316L 不銹鋼結構。這種材質具有出色的耐腐蝕性和耐高溫性,能夠適應半導體制造中各種腐蝕性氣體環境和高達 400℃的高溫工藝條件。全金屬結構不僅確保了過濾器的強度和穩定性,還避免了非金屬材料可能產生的微粒脫落問題,從源頭保證了過濾后的氣體潔凈度。
作為專為半導體氣體分配系統設計的設備,VCR 墊片過濾器在接口兼容性方面表現優異,兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 標準墊圈接口。這使得它能夠輕松融入不同規格的氣體管路系統,無論是新建生產線還是對現有設備進行升級改造,都無需對管路進行大規模調整,大大降低了設備更換的成本和難度。
安裝方式上,不銹鋼VCR 墊片過濾器采用墊片式便捷安裝,作為表面密封的過濾器,無需進行復雜的管道切割或焊接作業。只需按照標準的 VCR 接口安裝流程進行操作,就能快速完成安裝,不僅縮短了安裝時間,減少了生產停機帶來的損失,還避免了因安裝過程不當而引入的二次污染風險。
VCR 墊片過濾器的過濾性能十分出色,過濾精度≥0.3μm,能夠有效攔截氣體中的微小顆粒雜質,為 MFC 模塊、精密閥門、穩壓設備等敏感組件提供可靠保護。這些精密設備一旦受到顆粒污染,可能會導致控制精度下降、設備磨損加劇,甚至引發氣體泄漏等嚴重安全隱患。VCR 墊片過濾器的高效過濾能力,能夠有效降低這些風險,延長設備使用壽命,降低維護成本。
針對不同壓力需求的半導體系統,VCR 墊片過濾器提供了高壓型和低壓型兩種選擇。高壓型適用于高壓系統管路,1/2’’規格的最大正向壓差可達 2.9Mpa,1/4” 規格的最大正向壓差高達 10.4Mpa,流量范圍在 0~300slpm,能夠滿足高壓力、大流量的工藝場景;低壓型適用于低壓系統管路(VCR 過濾墊片),最大使用壓力為 0.98Mpa,流量范圍在 0~100slpm,同時還提供 0.3μm、1.0μm、5μm、10μm 等多種過濾精度,可根據具體工藝要求靈活選擇。
此外,不銹鋼VCR 墊片過濾器還可以在現有配管上直接安裝,這為半導體企業的設備升級提供了極大便利。企業無需對現有的管路布局進行大規模改動,就能快速提升系統的過濾性能,以經濟高效的方式實現氣體潔凈度的提升,滿足更高標準的生產要求。
在半導體制造過程中,泄漏風險是必須嚴格把控的環節。VCR 墊片過濾器通過與 VCR 接口的緊密配合,形成可靠的密封,同時其高效的過濾性能減少了微粒對密封面的磨損,進一步降低了泄漏風險,為半導體工廠的安全生產提供了有力保障。
深圳恒歌始終專注于為半導體行業提供高品質的過濾設備,VCR 墊片過濾器的推出,充分體現了企業對半導體行業需求的深刻理解。它以全金屬結構的可靠性、便捷的安裝方式、高效的過濾性能和廣泛的兼容性,為半導體氣體系統提供了全方位的過濾保護,助力半導體企業提升產品質量和生產效率。
無論是在邏輯芯片、存儲芯片還是特種半導體的制造過程中,VCR 墊片過濾器都能發揮重要作用,為氣體系統輸送潔凈的氣體,守護著每一個生產環節的精密與穩定。選擇恒歌 VCR 墊片過濾器,就是選擇了一種高效、可靠的過濾解決方案,為半導體制造的順利進行保駕護航。
發布時間 25-07-31