電子半導體行業精密過濾器_微電子級濾芯廠家
隨著半導體器件尺寸不斷縮小,對生產環境中污染物的控制要求愈發嚴格。恒歌電子半導體過濾器、微電子半導體過濾器依托核心技術,為半導體制造提供從源頭控制污染的過濾方案,助力企業提升產品良率。
產品特點
恒歌半導體行業過濾器以 “精準過濾、穩定運行” 為核心,具備以下特性:
●?材質與結構優勢:整體 316L 不銹鋼結構是應對半導體制造高溫、高壓、腐蝕性環境的理想選擇,不僅能承受極端工況,還能減少自身材質對流體的污染,從源頭保障過濾介質的潔凈。
●?先進過濾技術:作為先進的半導體制造過濾解決方案,其先進的納米攔截功能與 0.003-100 微米內置過濾器形成 “組合防護”,超高顆粒攔截效率可將各類微小污染物攔截在過濾前端。
●?實用化設計:非單純追求參數極致,更注重實際生產適配 —— 高通量、低阻力設計保證生產效率不打折;100% 氨氣檢漏測試杜絕泄漏風險;可配置多類型閥門組件,滿足不同系統的安裝需求。
性能參數與保障
恒歌半導體過濾器的性能參數經過嚴格測試,確保符合半導體行業標準:
性能類別 | 具體參數 |
材質與耐受 | 316L 不銹鋼結構,耐高溫、高壓、腐蝕 |
適用介質 | 多種工藝氣體 |
流通性能 | 高通量、低阻力 |
攔截精度 | 0.003-100 微米,超高攔截效率 |
密封測試 | 100% 氨氣檢漏測試 |
凈化效果 | 出口氣體雜質含量<5ppb |
組件配置 | 可配兩閥、三閥、四閥等 |
行業應用價值
在半導體制造的集成電路、數據存儲、平板顯示、光伏等細分領域,恒歌半導體行業過濾器的價值主要體現在:
●?減少因氣體 / 流體污染導致的晶圓表面缺陷,提升產品良率;
●?出口氣體雜質含量<5ppb 的凈化效果,滿足先進制程對高純氣體的要求;
●?穩定的運行表現降低設備維護頻率,減少生產中斷風險。
從標準化產品到 OEM 定制服務,恒歌可根據客戶具體需求提供針對性方案。若需進一步了解產品適配場景或技術細節,可聯系獲取專業支持。